一種硅片抓取整理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121863316.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214269358U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214269358U 申請公布日 2021-09-24
分類號 B65G49/06（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 申?duì)N;胡慶明 申請（專利權(quán)）人 常州華數(shù)錦明智能裝備技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉松
地址 213100江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西湖路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片抓取整理裝置，包括硅片整理裝置、取硅片裝置、周轉(zhuǎn)箱移載裝置，所述硅片整理裝置包括硅片夾持機(jī)構(gòu)、片夾輸送載臺、托舉機(jī)構(gòu)、放硅片機(jī)架，所述硅片夾持機(jī)構(gòu)滑動(dòng)安裝于硅片夾持底座上，所述托舉機(jī)構(gòu)滑動(dòng)安裝于放硅片機(jī)架上且驅(qū)動(dòng)硅片夾持底座上下移動(dòng)；所述片夾輸送載臺驅(qū)動(dòng)硅片夾持機(jī)構(gòu)水平方向移動(dòng)；所述取硅片裝置包括控制柜和機(jī)器人夾具，所述機(jī)器人夾具由控制柜控制；所述周轉(zhuǎn)箱移載裝置包括移載臺機(jī)架、轉(zhuǎn)角機(jī)構(gòu)、移載臺和周轉(zhuǎn)箱，所述轉(zhuǎn)角機(jī)構(gòu)滑動(dòng)安裝于移載臺機(jī)架上，所述移載臺安裝于轉(zhuǎn)角機(jī)構(gòu)上方，所述周轉(zhuǎn)箱安裝于移載臺上方。本實(shí)用新型解決了人工上料硅片易碎且效率低下的問題。