一種氮化硅基板燒結方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110131939.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112851364A | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請公布號 | CN112851364A | 申請公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號 | C04B35/622(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;C04B35/638(2006.01)I | 分類 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 柏小龍 | 申請（專利權）人 | ?？酥Z新材料（大連）有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 116423遼寧省大連市花園口經濟區(qū)梧桐路牡丹街85-1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種氮化硅基板燒結方法。本發(fā)明提供的一種氮化硅基板燒結方法，通過將500g～600g氮化硅粉末、20g～25g氧化鋯粉末、10g～15g氧化鋁粉末以及10g～15g氧化釓粉末混合均勻后加入10g～12g聚乙烯醇縮丁醛、9g～12g鄰苯二甲酸二丁酯、15g～20g聚乙二醇以及10g～15g硬脂酸，進行球磨工藝、脫泡處理，將生坯在氮氣中進行脫脂和預燒結，將預燒結后的生坯進行進一步燒結，冷卻后得到氮化硅基板，解決了大尺寸基板在燒結過程中易變形，不致密等缺陷，從而可得到平整度達到+?0.002mm，致密度達到99％的大尺寸超薄氮化硅基板。?? |
