氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022013747.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213013089U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213013089U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/513(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉軍;沈文建 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江泰恒新能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 324300浙江省衢州市開(kāi)化縣華埠鎮(zhèn)金山路12號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐，包括底柜和管體，所述底柜中部安裝有操作臺(tái)，且底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述底柜頂部安裝有加熱爐，且加熱爐表面固定有連接塊，且連接塊另一端連接有卡塊，所述卡塊另一端連接有爐蓋，且爐蓋表面嵌入有觀(guān)測(cè)玻璃，所述底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述加熱爐表面開(kāi)設(shè)有通孔，且通孔下方設(shè)置有夾持塊，所述夾持塊內(nèi)部連接有復(fù)位彈簧。該氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐通過(guò)夾持塊、復(fù)位彈簧與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其將管體放置于夾持塊內(nèi)部時(shí)，管體壓動(dòng)復(fù)位彈簧與限位臂向下移動(dòng)，使其彎曲狀限位臂的另一端向下將管體夾持固定，且通過(guò)軟膠塊與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其提升了夾持的穩(wěn)定性。?? |
