一種磁控濺射薄膜的純鈦靶材備管的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011410460.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112676374A | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112676374A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | B21C37/06(2006.01)I | 分類 | 基本上無(wú)切削的金屬機(jī)械加工；金屬?zèng)_壓; |
| 發(fā)明人 | 芮天安;趙永武;丁春聰;周雄杰;趙瑞晉;馬俊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽寶泰特種材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市道爾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 董艷玲 |
| 地址 | 242000安徽省宣城市涇縣榔橋鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種磁控濺射薄膜的純鈦靶材備管的制備方法，包括以下步驟：選用海綿鈦原料，經(jīng)過(guò)烘烤，用油壓機(jī)將海綿鈦原料壓制成電極塊，在真空焊箱內(nèi)組焊電極；采用真空自耗電弧爐對(duì)海綿鈦原料熔煉兩次制備鑄錠；將制得的鑄錠經(jīng)二火次鐓拔鍛造得到鈦圓棒；對(duì)鈦圓棒進(jìn)行機(jī)械加工獲得光滑勻稱的棒材；將制得的棒材用二輥斜軋穿孔制成管坯；去除管坯內(nèi)外表面氧化皮及鈦表面污染層；對(duì)制得的管坯進(jìn)行多道次拉伸擴(kuò)徑；采用五輥冷軋機(jī)對(duì)處理后的管坯進(jìn)行多次冷軋軋制；將成品管材進(jìn)行真空退火處理；對(duì)制得的成品管材去毛刺、切頭尾、定尺；將制得管材進(jìn)行內(nèi)、外表面粗拋光處理后再分別進(jìn)行精拋光處理。本發(fā)明可以生產(chǎn)出高精度的純鈦靶材備管。?? |
