環(huán)吸除塵式裝料設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022975257.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214142613U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214142613U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) C30B29/06（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李辰宇;潘連勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 錦州遼西專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李輝
地址 121005遼寧省錦州市太和區(qū)中信路46號(hào)甲
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 環(huán)吸除塵式裝料設(shè)備，包括底座，在底座上安裝水平轉(zhuǎn)動(dòng)的底托，在底托上方懸置與底托同軸的吸塵環(huán)，所述吸塵環(huán)為中空結(jié)構(gòu)，且在吸塵環(huán)內(nèi)圓面設(shè)有周向均勻分布的吸塵孔，在吸塵環(huán)上設(shè)有排塵孔。在向石英坩堝中裝填單晶硅原料過(guò)程中，其可去除空氣的粉塵和附著在單晶硅原料表面的多晶硅粉，提高產(chǎn)品質(zhì)量，改善車間作業(yè)環(huán)境。