一種硅盤倒角裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022837775.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214351403U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214351403U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) B24B9/06（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 辛承棟;謝巖 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京易捷勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓國(guó)勝
地址 121000遼寧省錦州市太和區(qū)中信路46號(hào)甲
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種硅盤倒角裝置，涉及半導(dǎo)體硅盤加工技術(shù)領(lǐng)域。一種硅盤倒角裝置，包括框架主體、工件轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、夾緊機(jī)構(gòu)、壓緊機(jī)構(gòu)以及工件打磨機(jī)構(gòu)。工件轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)從框架主體下方穿過(guò)框架主體與夾緊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接。壓緊機(jī)構(gòu)從框架主體上方穿過(guò)框架主體。工件打磨機(jī)構(gòu)設(shè)置于框架主體側(cè)部。通過(guò)在框架主體下方安裝有工件轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該工件轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)穿過(guò)框架主體的下層框架帶動(dòng)與其固定的夾緊機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu)所夾持的裝有待打磨硅盤旋轉(zhuǎn)。穿過(guò)框架主體的上層框架上的壓緊機(jī)構(gòu)對(duì)硅盤在豎直方向上進(jìn)行壓緊。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)而言，其操作簡(jiǎn)單，使用方便。同時(shí)安裝便捷，在大量提升硅盤倒角時(shí)間的同時(shí)節(jié)省人力。