一種紫外LED外延結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110915334.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113725328A 公開(公告)日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113725328A 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李國強(qiáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣州市眾拓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州容大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉新年
地址 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號(hào)B2棟1103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及LED半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種紫外LED外延結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用。紫外LED外延結(jié)構(gòu)包括由下向上設(shè)置的襯底、緩沖層、非故意摻雜層、N型層、量子阱發(fā)光層、P型電子阻擋層、P型AlGaN層;所述量子阱發(fā)光層為多個(gè)周期的AlxGa1?xN/AlyGa1?xN超晶格結(jié)構(gòu);AlxGa1?xN/AlyGa1?xN超晶格結(jié)構(gòu)的y值根據(jù)周期數(shù)的奇偶性變化而變化。本發(fā)明提供的紫外LED外延結(jié)構(gòu)中量子阱發(fā)光層采用新型量子壘,有效降低電子的遷移效率,顯著提升內(nèi)量子效率,極大提高了發(fā)光效率。