用以制造面板的無(wú)塵系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911328436.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111508880A 公開（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111508880A 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類號(hào) H01L21/673;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高瑞懇;陳政欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 臺(tái)州觀宇科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天馳君泰律師事務(wù)所 代理人 創(chuàng)王光電股份有限公司;臺(tái)州創(chuàng)王光電有限公司
地址 中國(guó)臺(tái)灣新竹縣302新竹市復(fù)興1街251號(hào)9F-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用以制造面板的方法以及用以制造面板的無(wú)塵系統(tǒng)。所述方法包括數(shù)個(gè)操作。于一第一機(jī)臺(tái)中在一基板上進(jìn)行一第一操作。于一第二機(jī)臺(tái)中在該基板上進(jìn)行一第二操作。在該第一機(jī)臺(tái)及該第二機(jī)臺(tái)間輸送該基板，其中該基板系在一微環(huán)境中由一面板載運(yùn)裝置輸送。