一種碳化硅粉體顆粒長(zhǎng)大的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110584891.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113322509A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113322509A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類(lèi)號(hào) C30B9/12（2006.01）I;C30B28/04（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 樊子民;王曉剛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 西安博爾新材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 西安創(chuàng)知專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 馬小燕
地址 710089陜西省西安市航空基地藍(lán)天六路7號(hào)B09-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅粉體顆粒長(zhǎng)大的方法，該方法包括：一、將可溶性無(wú)機(jī)鹽加熱至熔融溫度攪拌，冷卻后磨細(xì)過(guò)篩得到熔鹽粉；二、將熔鹽粉與碳化硅粉體配比并混合均勻得到混合物；三、將混合物在熔鹽粉的共熔溫度以上保溫得到熔融物；四、將熔融物冷卻至室溫后研磨，經(jīng)洗滌、靜置和干燥，得到長(zhǎng)大的碳化硅粉體顆粒。本發(fā)明采用可溶性無(wú)機(jī)鹽為熔鹽體系，與碳化硅粉體混合共熔，使得小的碳化硅顆粒優(yōu)先溶解，并在大的碳化硅顆粒上沉淀而逐漸長(zhǎng)大，同時(shí)部分雜質(zhì)也會(huì)通過(guò)熔鹽而除去，有利于碳化硅晶體的生長(zhǎng)，提高了長(zhǎng)大的碳化硅粉體顆粒的質(zhì)量純度。