一種亞微米多自由度超高真空樣品臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021953178.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212931485U 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN212931485U 申請公布日 2021-04-09
分類號 G01D11/30;G01D11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙嘉峰;池彬;謝斌平;歐宏煒 申請（專利權(quán)）人 費勉儀器科技（南京）有限公司
代理機構(gòu) 上海國瓴律師事務(wù)所 代理人 傅耀
地址 210000 江蘇省南京市江北新區(qū)智達路6號智城園區(qū)3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種亞微米多自由度超高真空樣品臺。包括旋轉(zhuǎn)平臺、旋轉(zhuǎn)軸和亞微米三維平移臺；其中，所述亞微米三維平移臺包括樣品桿，所述樣品桿位于所述亞微米三維平移臺下方，并與所述亞微米三維平移臺固定連接，所述旋轉(zhuǎn)平臺位于所述亞微米三維平移臺下方，并通過所述旋轉(zhuǎn)軸與所述亞微米三維平移臺連接。其中本實用新型的有益效果是：解決了現(xiàn)有技術(shù)中樣品桿不在旋轉(zhuǎn)軸上時，旋轉(zhuǎn)時，測量微區(qū)移動，沒法盯著一點測量旋轉(zhuǎn)時，總長更長、相對軸線做旋轉(zhuǎn)運動時偏擺幅度大的技術(shù)問題。本實用結(jié)構(gòu)簡單，便于使用，精度更高。