一種高控制精度和高重復(fù)定位精度多自由度平移臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022486460.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213655473U 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN213655473U 申請公布日 2021-07-09
分類號 F16C29/02（2006.01）I;F16H25/24（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 謝斌平;池彬;趙嘉峰 申請（專利權(quán)）人 費勉儀器科技（南京）有限公司
代理機構(gòu) 上海國瓴律師事務(wù)所 代理人 傅耀
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)智達路6號智城園區(qū)3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種高控制精度和高重復(fù)定位精度多自由度平移臺，包括第一平移臺、第二平移臺、平移驅(qū)動裝置、光柵尺和光柵尺讀取頭，所述第一平移臺和所述第二平移臺滑動安裝，所述平移驅(qū)動裝置連接所述第一平移臺和所述第二平移臺，所述光柵尺位于所述第一平移臺上，所述光柵尺讀取頭位于所述第二平移臺上，所述光柵尺位于所述光柵尺讀取頭一側(cè)。其中本實用新型的有益效果是：通過平移驅(qū)動裝置結(jié)合光柵尺作為閉環(huán)反饋控制，實時反饋實際位置。實現(xiàn)高的控制精度和高的重復(fù)定位精度，可達到亞微米級。