一種用于精密電鏡分析儀器的等離子清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021791983.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212570921U | 公開（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212570921U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號(hào) | H01J37/32(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王艷會(huì);葉雨城;趙子淳;鄒潔;鹿建;謝斌平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 費(fèi)勉儀器科技（南京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京瑞華騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 梁金娟 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江北新區(qū)智達(dá)路6號(hào)智城園區(qū)3號(hào)樓4層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于精密電鏡分析儀器的等離子清洗裝置，包括電鏡分析儀器腔體，電鏡分析儀器腔體分別與真空規(guī)、RGA分析器、QCM膜厚控制儀和抽氣泵連接，電鏡分析儀器腔體還連接有等離子發(fā)生器，等離子發(fā)生器的輸出端與電鏡分析儀器腔體之間的連接管道上設(shè)置有朗繆爾探針，用以測(cè)量等離子發(fā)生器放電時(shí)產(chǎn)生的等離子參數(shù)，等離子發(fā)生器輸出端的頂部設(shè)置有漏氣閥，等離子發(fā)生器的輸入端通過(guò)射頻線與射頻源主體連接。該用于精密電鏡分析儀器的等離子清洗裝置可以根據(jù)需要清洗腔體的類型和尺寸選擇合適的放電功率，從而達(dá)到清洗污染物的目的，適用性更強(qiáng)；采用射頻源激勵(lì)產(chǎn)生等離子體對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行清洗，對(duì)清洗腔體的內(nèi)壁不會(huì)產(chǎn)生損傷。?? |
