芯片用聚酰亞胺剝離液及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210451867.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102944986A 公開（公告）日 2013-02-27
申請公布號 CN102944986A 申請公布日 2013-02-27
分類號 G03F7/42(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 廖勇勤 申請（專利權）人 大連三達維芯半導體材料有限公司
代理機構 大連非凡專利事務所 代理人 閃紅霞
地址 116023 遼寧省大連市高新技術產(chǎn)業(yè)園區(qū)學子街99號318室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種芯片用聚酰亞胺剝離液，其特征在于由如下組分（質(zhì)量百分比）構成：吡咯烷酮5~60%，亞砜5~80%，醇醚5~40%，季銨0.1~20%，堿0.1~10%，水余量，既可快速徹底（無殘留）去除聚酰亞胺，又能防止金屬材料被氧化受損，有效提高了產(chǎn)品的優(yōu)良率。