一種基于尋找晶圓直邊的晶圓對(duì)位方法和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111387730.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113822883B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113822883B 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類號(hào) G06T7/00（2017.01）I;G06T7/13（2017.01）I;G06T7/73（2017.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 左右祥;楊義祿;關(guān)玉萍;查世華;李波;曾磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州維智林專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙曉慧
地址 526238廣東省肇慶市高新區(qū)北江大道20號(hào)之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于尋找晶圓直邊的晶圓對(duì)位方法和系統(tǒng)。該方法包括：先轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)晶圓并沿著晶圓的外邊緣逐幀拍照，并記錄拍攝圖像時(shí)所旋轉(zhuǎn)的角度；接著對(duì)拍到的照片逐幀處理并提取圖像的邊緣信息；然后對(duì)得到的圖像邊緣信息利用最小二乘法，擬合直線；最后根據(jù)邊緣點(diǎn)和擬合的直線關(guān)系來(lái)確定是否為直邊；并根據(jù)直邊的傾斜角度以及所在圖像的旋轉(zhuǎn)角度，完成晶圓對(duì)位。本發(fā)明基于視覺(jué)圖像處理技術(shù)，通過(guò)查找晶圓直邊的方法實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的對(duì)位，精度高，速度快，魯棒性好。