一種顯微鏡測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111374260.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114088628A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114088628A 申請公布日 2022-02-25
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張梁;陳焜;李波 申請（專利權）人 中導光電設備股份有限公司
代理機構 廣州維智林專利代理事務所（普通合伙） 代理人 趙曉慧
地址 526238廣東省肇慶市高新區(qū)北江大道20號之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N顯微鏡測量方法。該方法包括：顯微鏡聚焦，判斷聚焦傳感器反饋值是否小于一次聚焦范圍閾值；連續(xù)讀取三次以上聚焦傳感器反饋值，計算平均值和標準方差，同時采圖測量；判斷標準方差是否小于聚焦穩(wěn)定性閾值，如果否，則計數(shù)加一，并判斷計數(shù)是否超過預設次數(shù)，如果計數(shù)超過預設次數(shù)則報警，結束，如果計數(shù)不超過預設次數(shù)，則再次連續(xù)讀取三次以上聚焦傳感器反饋值，計算平均值和標準方差，同時采圖測量；如果標準方差小于聚焦穩(wěn)定性閾值則進入下一步；判斷平均值是否小于二次聚焦穩(wěn)定性閾值；根據(jù)平均值計算顯微鏡離焦距離，根據(jù)離焦距離移動聚焦馬達，然后再次連續(xù)讀取三次以上聚焦傳感器反饋值，計算平均值和標準方差，同時采圖測量。