一種晶圓圓心偏移檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111035616.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113470108B 公開(kāi)（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113470108B 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) G06T7/66（2017.01）I;G06T7/00（2017.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 陳盛闖;張梁;李波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州維智林專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙曉慧
地址 526238廣東省肇慶市高新區(qū)北江大道20號(hào)之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓圓心偏移檢測(cè)方法，包括：驅(qū)動(dòng)晶圓在轉(zhuǎn)盤(pán)上旋轉(zhuǎn)一周；獲取旋轉(zhuǎn)時(shí)在攝像機(jī)下形成的多個(gè)圖像；根據(jù)所述多個(gè)圖像計(jì)算晶圓的偏移角度；根據(jù)所述多個(gè)圖像計(jì)算晶圓的偏移距離；根據(jù)所述晶圓的偏移角度和偏移距離計(jì)算圓心的偏移坐標(biāo)。本發(fā)明采用旋轉(zhuǎn)載臺(tái)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，定點(diǎn)拍照，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,采集分辨率自由可控制；精準(zhǔn)推導(dǎo)圓心偏移公式，求取圓心偏移采用分離計(jì)算方法，采用多測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合來(lái)提高測(cè)量準(zhǔn)確度，對(duì)微小數(shù)據(jù)進(jìn)行等效估算，在數(shù)據(jù)保真前提下降低計(jì)算難度。利用余弦三角函數(shù)的曲線特點(diǎn)，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)、插補(bǔ)、補(bǔ)償，排除缺失、異常數(shù)據(jù)，光滑噪聲，提高測(cè)量準(zhǔn)確度和精度。