一種雙顯微鏡測(cè)量設(shè)備及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111374242.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114088627A | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114088627A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張梁;陳焜;李波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州維智林專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙曉慧 |
| 地址 | 526238廣東省肇慶市高新區(qū)北江大道20號(hào)之一 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種雙顯微鏡測(cè)量設(shè)備及方法，包括：兩個(gè)顯微鏡、龍門、夾具；其中，所述兩個(gè)顯微鏡安裝在龍門的軸上，能夠在龍門上來回移動(dòng)；所述顯微鏡具有電動(dòng)微調(diào)裝置，安裝在顯微鏡與龍門的連接處，以對(duì)顯微鏡的位置進(jìn)行微調(diào)；和/或，所述夾具具有旋轉(zhuǎn)電動(dòng)微調(diào)裝置，安裝在夾具的底部，以對(duì)夾具的位置進(jìn)行微調(diào)。測(cè)量時(shí)，將同一行測(cè)量點(diǎn)左右平分，如果是奇數(shù)個(gè)點(diǎn)位，則增加一個(gè)虛擬點(diǎn)位，左側(cè)顯微鏡負(fù)責(zé)左側(cè)點(diǎn)位，右側(cè)顯微鏡負(fù)責(zé)右側(cè)點(diǎn)位，從左至右或從右至左同向逐個(gè)點(diǎn)位依次同時(shí)進(jìn)行移動(dòng)和測(cè)量。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：基板及其夾具質(zhì)量比較小，重心比較低，移動(dòng)后機(jī)臺(tái)較短時(shí)間就可以穩(wěn)定，可以較快進(jìn)行測(cè)量，提高測(cè)量效率。 |
