一種陶瓷電容式壓力傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011187065.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112229544A 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN112229544A 申請公布日 2021-01-15
分類號 G01L1/14;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 景杰;殷捷;許正昌;王清新 申請（專利權）人 常州盛士達傳感器有限公司
代理機構 常州國洸專利代理事務所（普通合伙） 代理人 吳麗娜
地址 213000 江蘇省常州市新北區(qū)新竹路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陶瓷電容式壓力傳感器及其制備方法，屬于傳感器制備技術領域。包括厚陶瓷基板、薄陶瓷基板，所述厚陶瓷基板和薄陶瓷基板之間通過玻璃漿粘結層粘結固定，所述厚陶瓷基板側邊緣上開設有多個凹槽，每個所述凹槽中都裝填有一個L型的導電片，所述導電片和凹槽之間通過銀膠導電連接，所述厚陶瓷基板頂部凹槽位置上還設有焊盤，所述焊盤用于連接導電片達到過渡連接作用。本發(fā)明的陶瓷電容式壓力傳感器在厚陶瓷基板側邊緣切凹槽，在凹槽中裝填導電片，并在導電片和凹槽之間通過灌入導電銀膠來填滿槽腔，不受氣壓的影響，可以保證填滿槽腔，同時也可以直觀的檢測，使得傳感器的輸出可靠性得到顯著提高。