一種低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體持續(xù)發(fā)生裝置及其發(fā)生方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810616981.0 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN108554207A 公開(公告)日 2018-09-21
申請公布號(hào) CN108554207A 申請公布日 2018-09-21
分類號(hào) B01F3/02;B01F15/04;B01F15/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 謝雷;楊雁南;沈飛宙 申請(專利權(quán))人 上海雷密傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東正專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張亦華
地址 201807 上海市嘉定區(qū)城北路1355號(hào)1幢801室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體持續(xù)發(fā)生裝置及其發(fā)生方法,該發(fā)生裝置包括進(jìn)氣管路、氣源室、主氣室和配氣管路,氣源室通過第一氣泵與主氣室連通,主氣室內(nèi)安裝有壓差傳感器,主氣室的出氣端通過傳質(zhì)控制裝置與配氣管路連通,進(jìn)氣管路分別與氣源室和配氣管路連通。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)方案利用傳質(zhì)控制裝置控制氣室容積,使氣室壓力穩(wěn)定,可配置并持續(xù)輸出低濃度、流速均勻的標(biāo)準(zhǔn)氣體,配氣操作簡便,效率高,穩(wěn)定性好。