超聲波清洗漕結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021823849.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213915194U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213915194U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) B08B3/12（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/06（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 同小剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海華力集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 焦天雷
地址 201203上海市浦東新區(qū)康橋東路298號(hào)1幢1060室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種超聲波清洗漕結(jié)構(gòu)，包括：內(nèi)槽體用于容置清洗液和被清洗晶圓，被清洗晶圓浸泡于清洗液中；外槽體底部形成有內(nèi)槽體安裝孔，內(nèi)槽體自內(nèi)槽體安裝孔進(jìn)入外槽體，外槽體與內(nèi)槽體之間形成容置空間，自內(nèi)槽體溢出的清洗液能被容置于外槽體和內(nèi)槽體之間的容置空間；多個(gè)擴(kuò)散噴嘴形成有內(nèi)槽體內(nèi)側(cè)壁，其用于將化學(xué)清洗液噴射向被清洗晶圓；每個(gè)擴(kuò)散噴嘴設(shè)有獨(dú)立控制擴(kuò)散噴嘴控制閥或所有擴(kuò)散噴嘴設(shè)有統(tǒng)一的擴(kuò)散噴嘴控制閥。本實(shí)用新型能實(shí)現(xiàn)對(duì)清洗槽的徹底清洗，清洗效果好且有保障，可有效改善金屬研磨后對(duì)產(chǎn)品的清洗效果，提高集成電路芯片產(chǎn)品的良品率和產(chǎn)品均一性。