光學(xué)鄰近效應(yīng)修正方法及其修正系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910788194.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110456617B 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110456617B 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G03F1/36（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 喬彥輝;王丹;于世瑞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海華力集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 焦天雷
地址 201315上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)康橋東路298號(hào)1幢1060室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正方法，包括：基于模型將當(dāng)前掩膜版上的圖形仿真形成光刻膠輪廓；根據(jù)光刻膠輪廓與目標(biāo)圖形對(duì)應(yīng)邊位置關(guān)系判定邊緣位置誤差；篩選出滿足預(yù)設(shè)修正條件的對(duì)邊；計(jì)算篩選出對(duì)邊的預(yù)移動(dòng)量和實(shí)際移動(dòng)量；對(duì)篩選出對(duì)邊分別執(zhí)行實(shí)際移動(dòng)量的修正；重復(fù)上述步驟直至該版圖中無滿足預(yù)設(shè)修正條件的對(duì)邊。本發(fā)明還公開了一種基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正系統(tǒng)。本發(fā)明的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正方法/修正系統(tǒng)可在進(jìn)行光學(xué)鄰近效應(yīng)修正同次迭代時(shí)，通過提前給對(duì)邊未來要進(jìn)行同向移動(dòng)結(jié)構(gòu)的其中一邊適當(dāng)增加移動(dòng)量，來降低產(chǎn)品缺陷的風(fēng)險(xiǎn)，提高產(chǎn)品的合格率。