機(jī)械手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022913314.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213936147U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936147U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁鵬華 申請（專利權(quán)）人 上海華力集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 顧浩
地址 201315上海市浦東新區(qū)康橋東路298號1幢1060室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種機(jī)械手臂，用于取放晶圓，包含：伸出臂、位置感知部件、數(shù)據(jù)處理模塊、手臂控制器。伸出臂用以承載待取放的晶圓，伸出臂設(shè)定有對準(zhǔn)中心點(diǎn)，伸出臂由驅(qū)動機(jī)構(gòu)帶動運(yùn)動。位置感知部件設(shè)置于伸出臂處，位置感知部件用以測量晶圓中心的位置。位置感知部件獲得的晶圓中心的位置相關(guān)信號傳輸給數(shù)據(jù)處理模塊，數(shù)據(jù)處理模塊中存儲有對準(zhǔn)中心點(diǎn)的位置數(shù)據(jù)。手臂控制器包括執(zhí)行器，執(zhí)行器根據(jù)測量的晶圓中心的位置向驅(qū)動機(jī)構(gòu)輸出執(zhí)行信號。據(jù)此，由于位置感知部件位于伸出臂處，所以，能夠在晶圓位于伸出臂處時(shí)即可以感知晶圓中心位置，能夠及時(shí)調(diào)整伸出臂的位置，且根據(jù)實(shí)際的晶圓中心位置來執(zhí)行后續(xù)的伸出臂的運(yùn)動。