加液裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022799211.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213933770U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213933770U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類(lèi)號(hào) G01N33/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 袁鵬華;許文澤 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海華力集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 顧浩
地址 201315上海市浦東新區(qū)康橋東路298號(hào)1幢1060室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種加液裝置包含：儲(chǔ)液罐體，所述儲(chǔ)液罐體用以存儲(chǔ)待加入的液體，所述儲(chǔ)液罐體設(shè)有出液接口；加液罐體接頭，所述加液罐體接頭用以密封連接所述加液入口，所述加液罐體接頭上有管路接口和抽真空接口；加液管路，所述加液管路連接所述出液接口和所述管路接口。據(jù)此，整體的加液裝置與周?chē)鷱S(chǎng)區(qū)環(huán)境相對(duì)封閉，液體不會(huì)因?yàn)榇祾?、濺滴、外溢等情形而揮發(fā)散逸到廠(chǎng)區(qū)環(huán)境中，從而避免了污染廠(chǎng)區(qū)環(huán)境氣體，防止TVOC監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)局部短時(shí)超標(biāo)導(dǎo)致生產(chǎn)線(xiàn)報(bào)警和停線(xiàn)。