加液裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022799211.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213933770U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213933770U 申請公布日 2021-08-10
分類號 G01N33/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 袁鵬華;許文澤 申請（專利權）人 上海華力集成電路制造有限公司
代理機構 上海浦一知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 顧浩
地址 201315上海市浦東新區(qū)康橋東路298號1幢1060室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種加液裝置包含：儲液罐體，所述儲液罐體用以存儲待加入的液體，所述儲液罐體設有出液接口；加液罐體接頭，所述加液罐體接頭用以密封連接所述加液入口，所述加液罐體接頭上有管路接口和抽真空接口；加液管路，所述加液管路連接所述出液接口和所述管路接口。據(jù)此，整體的加液裝置與周圍廠區(qū)環(huán)境相對封閉，液體不會因為吹掃、濺滴、外溢等情形而揮發(fā)散逸到廠區(qū)環(huán)境中，從而避免了污染廠區(qū)環(huán)境氣體，防止TVOC監(jiān)測數(shù)據(jù)局部短時超標導致生產(chǎn)線報警和停線。