一種帶柔性電路板的晶圓溫度傳感裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920880456.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210322041U | 公開（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210322041U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-14 |
| 分類號(hào) | G01K1/14(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 夏子奐;徐俊強(qiáng);吳志偉;連超;王秋瑾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海集迦電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201206上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)新金橋路27號(hào)13號(hào)樓2層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種帶柔性電路板的晶圓溫度傳感裝置，其用于測(cè)量真空腔室內(nèi)的半導(dǎo)體加工機(jī)臺(tái)的溫度分布，至少包括柔性電路板(1)，其中，所述柔性電路板(1)上電氣連接有一個(gè)或多個(gè)溫度傳感器(2)，在工作狀態(tài)下，所述柔性電路板(1)貼合晶圓(6)設(shè)置。所述柔性電路板整體貼合在晶圓上，固定牢靠，不會(huì)有現(xiàn)有晶圓測(cè)溫傳感器的引線晃動(dòng)現(xiàn)象。制作方便，只需一次貼合，比現(xiàn)有多點(diǎn)測(cè)溫引線需獨(dú)立手工貼裝的工藝簡(jiǎn)單。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、測(cè)量準(zhǔn)確，具有極高的商業(yè)價(jià)值。?? |
