一種晶片質(zhì)量檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621196465.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206161548U 公開（公告）日 2017-05-10
申請公布號 CN206161548U 申請公布日 2017-05-10
分類號 G01N21/88(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高書征;林森;陸再旺 申請（專利權(quán)）人 深圳旭升智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 深圳市興科達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳旭升智能裝備有限公司;青島旭升視覺有限公司
地址 518000 廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前灣一路1號A棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶片質(zhì)量檢測裝置，包括機架、上位機、相機、機器人、移動光源、真空吸頭、真空源、用于承載晶片矩陣的工作臺和控制電路；工作臺和機器人安裝在機架的下部，機器人位于工作臺的一側(cè)；相機安裝在機架的上部，朝向工作臺；移動光源安裝在機架的中部，位于工作臺的上方；真空吸頭固定在機器人的機械手上，朝向工作臺；控制電路包括控制器，控制器的輸入端接上位機的輸出端，移動光源的控制端接控制器的控制信號輸出端；機器人分別與上位機及控制器通信連接，相機與上位機通信連接。本實用新型的晶片質(zhì)量檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作步驟少，做到一次對大量晶片的準(zhǔn)確識別剔取，生產(chǎn)效率高。