應(yīng)用于AFM-SEM混合顯微鏡系統(tǒng)的PRC及其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911274839.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111024988B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111024988B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01Q70/16;G01Q80/00;B81C1/00;B81B7/02 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳科綸;王純配;陳俊;孫鈺;汝長(zhǎng)海 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇集萃微納自動(dòng)化系統(tǒng)與裝備技術(shù)研究所有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張榮 |
| 地址 | 215100 江蘇省蘇州市相城區(qū)高鐵新城環(huán)秀湖大廈（原怡城園藝）南三、四樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了應(yīng)用于AFM?SEM混合顯微鏡系統(tǒng)的PRC及其制造方法。本發(fā)明一種應(yīng)用于AFM?SEM混合顯微鏡系統(tǒng)的PRC，包括：pcb基板、設(shè)置在所述pcb基板上的襯底、設(shè)置在所述襯底上的固定值電阻器、設(shè)置在所述襯底上的壓電電阻器、焊盤(pán)和固定結(jié)構(gòu)；所述壓電電阻器包括懸臂梁和設(shè)置在所述懸臂梁前端的探針；所述固定值電阻器和所述壓電電阻器互相平行；所述pcb基板遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)、兩個(gè)側(cè)邊和靠近所述襯底的一側(cè)設(shè)有第一導(dǎo)電涂層。本發(fā)明的有益效果：通過(guò)導(dǎo)電涂層盡可能消除落在PRC上的電荷，降低SEM電子束對(duì)PRC造成的干擾，使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。 |
