一種原子力顯微鏡的探針的剛度實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911329307.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110954714B 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN110954714B 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G01Q60/38（2010.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳科綸;谷森;孫鈺;汝長海;朱軍輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇集萃微納自動(dòng)化系統(tǒng)與裝備技術(shù)研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張榮
地址 215100江蘇省蘇州市相城區(qū)高鐵新城環(huán)秀湖大廈（原怡城園藝）南三、四樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種原子力顯微鏡的探針的剛度實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)方法，包括以下步驟：在所述懸臂梁上涂有剛度調(diào)節(jié)層，形成懸臂梁?涂層復(fù)合件；通過改變所述剛度調(diào)節(jié)層的溫度以改變懸臂梁?涂層復(fù)合件的剛度。能夠?qū)崟r(shí)調(diào)節(jié)探針剛度，不需頻繁更換探針，減少探針損耗，調(diào)節(jié)范圍大，工作范圍廣，穩(wěn)定性好。