艙門氣壓調(diào)整裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010936848.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112103170A 公開(kāi)（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112103170A 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) H01J49/04;G01N27/62 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于津;烏月恒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海美華醫(yī)療科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 鄭晨鳴
地址 519125 廣東省珠海市唐家灣鎮(zhèn)港灣大道科技一路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種艙門氣壓調(diào)整裝置，包括質(zhì)譜儀本體、靶板、升降機(jī)構(gòu)、可開(kāi)合的艙門、導(dǎo)氣組件和抽真空組件，其中，質(zhì)譜儀本體內(nèi)部設(shè)置有相互連通的真空腔體和過(guò)渡腔體，靶板和升降機(jī)構(gòu)設(shè)于真空腔體的內(nèi)部，升降機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)靶板上升或下降，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)將靶板升起并置于過(guò)渡腔體與真空腔體之間時(shí)，過(guò)渡腔體與真空腔體相互獨(dú)立；艙門設(shè)于質(zhì)譜儀本體上且位于過(guò)渡腔體的一側(cè)，艙門用于封蓋或打開(kāi)過(guò)渡腔體；導(dǎo)氣組件和抽真空組件均與過(guò)渡腔體連通，導(dǎo)氣組件用于向過(guò)渡腔體內(nèi)部導(dǎo)入氣體，抽真空組件用于對(duì)過(guò)渡腔體內(nèi)部進(jìn)行抽真空。根據(jù)本發(fā)明的艙門氣壓調(diào)整裝置，便于在不破壞質(zhì)譜儀的真空環(huán)境的情況下，實(shí)現(xiàn)樣品的放入與取出。