艙門氣壓調(diào)整裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021953392.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213071061U 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN213071061U 申請公布日 2021-04-27
分類號 H01J49/04;G01N27/64 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于津;烏月恒 申請（專利權(quán)）人 珠海美華醫(yī)療科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 鄭晨鳴
地址 519125 廣東省珠海市唐家灣鎮(zhèn)港灣大道科技一路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種艙門氣壓調(diào)整裝置，包括質(zhì)譜儀本體、靶板、升降機構(gòu)、可開合的艙門、導(dǎo)氣組件和抽真空組件，其中，質(zhì)譜儀本體內(nèi)部設(shè)置有相互連通的真空腔體和過渡腔體，靶板和升降機構(gòu)設(shè)于真空腔體的內(nèi)部，升降機構(gòu)用于驅(qū)動靶板上升或下降，當(dāng)升降機構(gòu)將靶板升起并置于過渡腔體與真空腔體之間時，過渡腔體與真空腔體相互獨立；艙門設(shè)于質(zhì)譜儀本體上且位于過渡腔體的一側(cè)，艙門用于封蓋或打開過渡腔體；導(dǎo)氣組件和抽真空組件均與過渡腔體連通，導(dǎo)氣組件用于向過渡腔體內(nèi)部導(dǎo)入氣體，抽真空組件用于對過渡腔體內(nèi)部進行抽真空。根據(jù)本實用新型的艙門氣壓調(diào)整裝置，便于在不破壞質(zhì)譜儀的真空環(huán)境的情況下，實現(xiàn)樣品的放入與取出。