一種用于傳感器的中遠紅外濾光片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022491535.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213581423U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213581423U 申請公布日 2021-06-29
分類號 G02B5/20（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 劉敏;劉輝;章旭;吳臨紅;徐鋒;路富亮;葉永洋 申請（專利權）人 江西晶創(chuàng)科技有限公司
代理機構 鷹潭市智埠專利代理事務所（普通合伙） 代理人 周少華
地址 335000江西省鷹潭市經濟技術開發(fā)區(qū)和諧路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種用于傳感器的中遠紅外濾光片，包括基板、第一膜堆和第二膜堆，所述第一膜堆沉積在基板上表面，所述第二膜堆沉積在基板下表面，膜系設計結構為G|0.5HL0.5H|^L Air；其中G為雙拋片單晶硅基板，H表示為一個λ/4光學厚度的高折射率材料層,L表示為一個λ/4光學厚度的低折射率材料層，“^”可以為奇數(shù)或偶數(shù)，Air為空氣，所述膜系設計結構通過相互交替疊合的高折射率材料層為Ge和低折射率材料層L為ZnS鍍制而成，本實用新型通過以單晶硅為基板進行雙面鍍膜堆，對波長0.4μm?5μm范圍內的紅外光進行截止，5.5μm?14μm波段范圍內紅外進行透過的Longpass Filters。