固晶用的吸附裝置及固晶機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 201910669625X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112289729A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112289729A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-29 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/683(2006.01)I;H01L33/62(2010.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 羅會(huì)才;郎欣林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市豐泰工業(yè)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市韋恩肯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃昌平;李華雙 |
| 地址 | 518104廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道新田社區(qū)大洋路90-4號(hào)101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種固晶用的吸附裝置及固晶機(jī)，該吸附裝置包括：吸附區(qū)，貼覆有彈性材料，彈性材料上設(shè)置有至少兩個(gè)微孔，每個(gè)微孔的孔徑大于或等于0.01毫米；非吸附區(qū)，設(shè)置有至少一個(gè)貫通孔，非吸附區(qū)包括連接子區(qū)，連接子區(qū)與吸附區(qū)的彈性材料直接連接，用于支撐彈性材料，連接子區(qū)的材料是剛性材料；其中，吸附區(qū)和非吸附區(qū)共同形成空腔，貫通孔與空腔連通，貫通孔用于連接外界的真空裝置，吸附裝置在外界的真空裝置的真空作用下能夠通過(guò)吸附區(qū)的彈性材料上的至少兩個(gè)微孔一次性吸取兩個(gè)以上的晶片。通過(guò)這種方式，本發(fā)明能夠高效率固晶，成本低廉，且不會(huì)壓傷晶片或者漏吸晶片。?? |
