晶片移動(dòng)裝置和固晶設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110737027.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113506764A 公開（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN113506764A 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郎欣林;羅會(huì)才;周誠(chéng);黃偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市豐泰工業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳智匯遠(yuǎn)見知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 牛悅涵
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道新田社區(qū)大洋路90-4號(hào)101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶片移動(dòng)裝置和固晶設(shè)備。晶片移動(dòng)裝置包括：吸附組件包括吸附頭和吸附驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸附頭上設(shè)有至少一個(gè)吸附孔，吸附驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與吸附孔連通，吸附驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括真空吸附件，真空吸附件以用于控制吸附孔處的氣壓；沖頂組件包括沖頂機(jī)構(gòu)以及驅(qū)動(dòng)沖頂機(jī)構(gòu)相對(duì)吸附頭做往復(fù)沖頂運(yùn)動(dòng)的沖頂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。這樣，通過沖頂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制沖頂機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，從而使得沖頂機(jī)構(gòu)對(duì)承載膜進(jìn)行頂起，進(jìn)而使得晶片的四周與承載膜進(jìn)行剝離，提高了將晶片從承載膜上轉(zhuǎn)移的效率。同時(shí)，還通過吸附組件在沖頂組件對(duì)承載膜上的晶片進(jìn)行頂起時(shí)，對(duì)承載膜進(jìn)行吸附，從而避免了承載膜上的其他晶片移位，提升了晶片轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。