一種藍寶石晶棒退火工藝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011627934.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112853497A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112853497A 申請公布日 2021-05-28
分類號 C30B33/02(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 戴生伢;張引;陳福金;黃振進;錢松根 申請（專利權）人 南京理工宇龍新材料科技股份有限公司
代理機構 南京行高知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 肖念
地址 211299江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)金港路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于藍寶石晶棒的退火工藝。其工藝流程包括快速升溫、緩慢升溫、保溫、緩慢降溫、快速降溫五個階段，其中保溫階段最高溫度可達1900℃。采用該工藝，可以顯著降低藍寶石晶棒掏棒過程中產(chǎn)生的內應力并減少后續(xù)藍寶石晶片加工中出現(xiàn)的翹曲和崩角現(xiàn)象，同時可以減少藍寶石長晶過程中的位錯密度并使晶棒變得無色透明。經(jīng)驗證，退火后的藍寶石晶棒加工成晶片后，晶片的翹曲度(warp)不良率為0，彎曲度(bow)不良率為0.9％，比退火前的不良率分別降低100％和70％，且在可見光波段的透過率達到了86％。該退火工藝具有較短的退火時間，可顯著提高效率并降低成本；同時工藝流程簡便，易于實施。??