一種藍寶石晶棒退火梯度冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022482004.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213680976U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680976U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C30B29/20（2006.01）I;C30B33/02（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 戴生伢;張引;錢松根;陳福金;黃振進 申請（專利權(quán)）人 南京理工宇龍新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 肖念
地址 211299江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)金港路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了晶棒退火冷卻技術(shù)領(lǐng)域的一種藍寶石晶棒退火梯度冷卻裝置，包括冷卻箱體，冷卻箱體的側(cè)壁均勻安裝有三組保護氣注入管，且三組保護氣注入管的外端之間豎向安裝有保護氣注入接頭，保護氣注入接頭的頂端與外界保護氣注入管連接，本實用新型通過在環(huán)形輸送板的上方設(shè)置有帶有用來放置藍寶石晶棒卡槽的晶棒卡板，且環(huán)形輸送板和晶棒卡板均為環(huán)形的設(shè)置，同時在環(huán)形輸送板和晶棒卡板之間設(shè)置有一級冷卻箱體、二級冷卻箱體以及三級冷卻箱體，使高溫退火后的藍寶石晶棒能夠以環(huán)形輸送的方式進行逐級的梯度降溫冷卻，且可以一邊對高溫的藍寶石晶棒放置，一邊對冷卻后的藍寶石晶棒卸載。