一種超高溫藍寶石晶棒退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022452460.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213680979U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680979U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C30B33/02（2006.01）I;C30B29/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 戴生伢;張引;錢松根;陳福金;黃振進 申請（專利權）人 南京理工宇龍新材料科技股份有限公司
代理機構 南京行高知識產權代理有限公司 代理人 肖念
地址 211299江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)金港路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了退火爐技術領域的一種超高溫藍寶石晶棒退火爐，包括退火爐體，退火爐體的外側通過螺栓和鉸鏈安裝有活動爐門，退火爐體的內腔中部橫向安裝有晶棒支架，退火爐體的內腔底部安裝有電磁加熱爐，本實用新型通過轉動T型調節(jié)桿在定位螺母上的伸出長度，使藍寶石晶棒能夠被夾緊固定在U型支架和限位壓板之間，使晶棒支架能夠對不同規(guī)格的藍寶石晶棒進行夾緊固定工作，再通過控制驅動電機的轉動，經過一系列的機械傳動，使固定在U型支架和限位壓板之間的藍寶石晶棒能夠在退火爐體的內腔均勻的轉動，使藍寶石晶棒與通過注氣接口注入的保護氣體均勻的接觸。