一種微機電系統(tǒng)紅外探測器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811422318.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109399552A 公開（公告）日 2019-03-01
申請公布號 CN109399552A 申請公布日 2019-03-01
分類號 B81B7/00;B81C1/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 趙繼聰;葛明敏;孫海燕;孫玲;方家恩 申請（專利權(quán)）人 蘇州銳杰微科技集團有限公司
代理機構(gòu) 江蘇隆億德律師事務所 代理人 南通大學;成都銳杰微科技有限公司
地址 226000 江蘇省南通市崇川區(qū)嗇園路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微機電系統(tǒng)紅外探測器，包括配置至少二垂直導電區(qū)的襯底，相對固定于襯底、配置至少二電極的熱敏感器件，及數(shù)量與電極的數(shù)量相同，電連接電極與垂直導電區(qū)的導電引線；其中，襯底配置熱絕緣層，熱絕緣層位于熱敏感器件于襯底的投影面處。本發(fā)明提供MEMS紅外探測器的結(jié)構(gòu)，熱敏感器件用于接收紅外輻射信號，輸出電學感應信號，將熱敏感器件上面朝向待探測區(qū)域，并于熱敏感器件的下部的熱絕緣層，并于下熱敏感器件的下部設置引線結(jié)構(gòu)，提高測量的精準度?；诖?，本發(fā)明還提供了一種微機電系統(tǒng)紅外探測器的制作方法。