一種微機電系統(tǒng)紅外探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821960157.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209128032U 公開（公告）日 2019-07-19
申請公布號 CN209128032U 申請公布日 2019-07-19
分類號 B81B7/00（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 趙繼聰; 葛明敏; 孫海燕; 孫玲; 方家恩 申請（專利權(quán)）人 蘇州銳杰微科技集團有限公司
代理機構(gòu) 江蘇隆億德律師事務(wù)所 代理人 成都銳杰微科技有限公司; 南通大學
地址 610200 四川省成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)集中發(fā)展區(qū)華府大道四段777號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種微機電系統(tǒng)紅外探測器，包括配置至少二垂直導電區(qū)的襯底，相對固定于襯底、配置至少二電極的熱敏感器件，及數(shù)量與電極的數(shù)量相同，電連接電極與垂直導電區(qū)的導電引線；其中，襯底配置熱絕緣層，熱絕緣層位于熱敏感器件于襯底的投影面處。本實用新型提供MEMS紅外探測器的結(jié)構(gòu)，熱敏感器件用于接收紅外輻射信號，輸出電學感應(yīng)信號，將熱敏感器件上面朝向待探測區(qū)域，并于熱敏感器件的下部的熱絕緣層，并于下熱敏感器件的下部設(shè)置引線結(jié)構(gòu)，提高測量的精準度。