一種修整盤小錠的制造方法及制造工具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111331825.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114083452A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114083452A 申請公布日 2022-02-25
分類號 B24D18/00（2006.01）I;B24B53/12（2006.01）I;B24B53/017（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 于政中;潘登;張云寶;譚景林 申請（專利權(quán)）人 深圳市前?？苿?chuàng)石墨烯新技術(shù)研究院
代理機構(gòu) 廣東眾贏專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 樊寶忠
地址 518000廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前海灣一路35號前海灣港青年夢工場1棟2層203室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種修整盤小錠的制造方法，包括：金剛石的篩選步驟、物料的準(zhǔn)備與放置步驟、物料的固定步驟、放置金剛石步驟、注入高分子樹脂、加熱固定形成步驟；本發(fā)明采用反鑄工藝，金剛石頂端對齊效果更好，實際工作的金剛石數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)修整盤，大幅提高修整效率。同時金剛石粘固更緊，不易脫落，降低損傷晶圓的風(fēng)險。反鑄工藝使金剛石形態(tài)也更加完好，壽命長，能大幅降低晶圓廠的成本。針對傳統(tǒng)修整盤的缺點進(jìn)行改善，具有廣闊的應(yīng)用前景。