SF6分解氣體的混氣系統(tǒng)及混氣方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110930854.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113670702A 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN113670702A 申請公布日 2021-11-19
分類號 G01N1/38（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王黎明;李騰飛;鄧先欽;李悅 申請（專利權(quán)）人 上海恒能泰企業(yè)管理有限公司璞能電力科技工程分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海科盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡彭君
地址 200122上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)源深路1122號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種SF6分解氣體的混氣系統(tǒng)及混氣方法，其中，混氣系統(tǒng)包括包括第一氣路、第二氣路和混氣箱，第一氣路和第二氣路中均設(shè)有質(zhì)量流量控制器，且第一氣路和第二氣路的輸出端均連接至混氣箱的進(jìn)氣口，第一氣路的輸入端連接至裝填有SF6氣源的第一容器，第二氣路的輸入端連接至第二容器，第二氣路共設(shè)有多個，且各第二氣路輸入端連接至不同的第二容器，混氣箱包括本體、待測傳感器、風(fēng)扇、壓力測量單元、加熱單元和真空泵，混氣箱的出氣口連接至真空泵，待測傳感器、壓力測量單元、風(fēng)扇和加熱單元均置于本體內(nèi)，本體上還設(shè)有航插，航插連接至待測傳感器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有提高樣品準(zhǔn)確度等優(yōu)點。