半導(dǎo)體擴(kuò)散爐爐膛維護(hù)小車(chē)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220543086.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216918502U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216918502U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | B66F9/065（2006.01）I;B66F9/19（2006.01）I;B66F9/14（2006.01）I;B66F9/22（2006.01）I;B66F9/24（2006.01）I;B66F9/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 卷?yè)P(yáng)；提升；牽引; |
| 發(fā)明人 | 殷大晨;王毅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 揚(yáng)州市蘇為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 225008江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)平山堂北路江陽(yáng)創(chuàng)業(yè)園三期 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 半導(dǎo)體擴(kuò)散爐爐膛維護(hù)小車(chē)。涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備。包括支撐座，升降機(jī)構(gòu)，承托座和托盤(pán)，承托座包括承托板和一對(duì)導(dǎo)入架；承托板設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)上方，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)控制承托板升降高度；一對(duì)導(dǎo)入架對(duì)稱(chēng)設(shè)置在承托板的頂部，之間設(shè)有與爐膛適配的導(dǎo)入腔，導(dǎo)入架上設(shè)有若干與爐膛適配的滾輪一。通過(guò)升降機(jī)構(gòu)將承托座升至與拆卸爐膛適配位置后，將爐膛一端擱置于一對(duì)導(dǎo)入架的滾輪一上，通過(guò)推動(dòng)爐膛的方式，將爐膛完全移入承托座上。托盤(pán)的底部與升降機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)軸承實(shí)現(xiàn)承托座360°方位的旋轉(zhuǎn)，提高維修或轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)的便捷性和靈活性。本案不僅簡(jiǎn)化操作流程，降低人力成本，提高工作效率，還提升了維護(hù)作業(yè)過(guò)程中的安全性。 |
