半導體擴散爐爐膛維護小車

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220543086.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216918502U 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN216918502U 申請公布日 2022-07-08
分類號 B66F9/065（2006.01）I;B66F9/19（2006.01）I;B66F9/14（2006.01）I;B66F9/22（2006.01）I;B66F9/24（2006.01）I;B66F9/20（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 殷大晨;王毅 申請（專利權）人 揚州揚杰電子科技股份有限公司
代理機構 揚州市蘇為知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 225008江蘇省揚州市邗江區(qū)平山堂北路江陽創(chuàng)業(yè)園三期
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 半導體擴散爐爐膛維護小車。涉及半導體加工設備。包括支撐座，升降機構，承托座和托盤，承托座包括承托板和一對導入架；承托板設置在升降機構上方，通過升降機構控制承托板升降高度；一對導入架對稱設置在承托板的頂部，之間設有與爐膛適配的導入腔，導入架上設有若干與爐膛適配的滾輪一。通過升降機構將承托座升至與拆卸爐膛適配位置后，將爐膛一端擱置于一對導入架的滾輪一上，通過推動爐膛的方式，將爐膛完全移入承托座上。托盤的底部與升降機構連接，通過軸承實現(xiàn)承托座360°方位的旋轉，提高維修或轉運時的便捷性和靈活性。本案不僅簡化操作流程，降低人力成本，提高工作效率，還提升了維護作業(yè)過程中的安全性。