電子和離子的等離子體源
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610247327.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105762053A | 公開(kāi)（公告）日 | 2016-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105762053A | 申請(qǐng)公布日 | 2016-07-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/32;H05H1/24 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 于寶海;謝廣亮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 沈陽(yáng)金鋒高新科技發(fā)展合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽(yáng)晨創(chuàng)科技專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 張晨 |
| 地址 | 110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)渾南中路35號(hào)604-107室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種電子和離子的等離子體源，包括：空心陰極、空心陰極法蘭、陶瓷絕緣子Ⅰ、筒形陽(yáng)極、陶瓷絕緣子Ⅱ、發(fā)射體陰極法蘭、陶瓷絕緣子Ⅲ、主法蘭、等離子體源外殼、加速電極法蘭、加速電極、發(fā)射體陰極、發(fā)射體陰極固定器、永磁體、永磁體固定器；空心陰極包括由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼、難熔金屬制成的小管、等離子體生成室、工作氣體供給管道和等離子體衰減室，發(fā)射體陰極包括由鐵氧體磁性鋼制成的發(fā)射體陰極外殼和設(shè)于由鐵氧體磁性鋼制成的發(fā)射體陰極外殼內(nèi)部的難熔金屬制成的嵌塊，難熔金屬制成的嵌塊內(nèi)部上端開(kāi)設(shè)有錐形凹槽，其下端設(shè)有與錐形凹槽連通的發(fā)射孔。本發(fā)明壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性強(qiáng)、效率高。 |
