藍寶石襯底拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620401635.7 申請日 -
公開（公告）號 CN205588136U 公開（公告）日 2016-09-21
申請公布號 CN205588136U 申請公布日 2016-09-21
分類號 B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 朱寧;劉增偉;魏行行 申請（專利權(quán)）人 元鴻（山東）光電材料有限公司
代理機構(gòu) 濟寧眾城專利事務(wù)所 代理人 杜言壘
地址 272000 山東省濟寧市高新區(qū)聯(lián)華路8號（信息產(chǎn)業(yè)園內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 藍寶石襯底拋光裝置，包括機架，設(shè)置在機架上端的水平支架，水平支架上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架導(dǎo)向滑動設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架上設(shè)置有與垂直支架連接的橫向驅(qū)動裝置，垂直支架上設(shè)置縱向?qū)к?，縱向?qū)к壣匣瑒釉O(shè)置有滑座，所述滑座向下連接有拋光板，在垂直支架上還設(shè)置有與滑座連接的縱向驅(qū)動裝置；拋光板在縱向驅(qū)動裝置作用下沿垂直支架上下移動，以實現(xiàn)對藍寶石襯底的壓實與安放，垂直支架在橫向驅(qū)動裝置作用下可以沿水平支架往復(fù)移動，以適應(yīng)不同寬度大小襯底的打磨加工；同時在拋光板與配重塊的凹槽之間設(shè)置有緩沖塊，可以對垂直縱向驅(qū)動裝置下壓時拋光板與襯底接觸時的沖擊力的緩沖，有利于保護藍寶石襯底免受硬性損壞。