藍(lán)寶石襯底拋光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620401635.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205588136U 公開（公告）日 2016-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN205588136U 申請(qǐng)公布日 2016-09-21
分類號(hào) B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 朱寧;劉增偉;魏行行 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 元鴻（山東）光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)寧眾城專利事務(wù)所 代理人 杜言壘
地址 272000 山東省濟(jì)寧市高新區(qū)聯(lián)華路8號(hào)（信息產(chǎn)業(yè)園內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括機(jī)架，設(shè)置在機(jī)架上端的水平支架，水平支架上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架導(dǎo)向滑動(dòng)設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架上設(shè)置有與垂直支架連接的橫向驅(qū)動(dòng)裝置，垂直支架上設(shè)置縱向?qū)к?，縱向?qū)к壣匣瑒?dòng)設(shè)置有滑座，所述滑座向下連接有拋光板，在垂直支架上還設(shè)置有與滑座連接的縱向驅(qū)動(dòng)裝置；拋光板在縱向驅(qū)動(dòng)裝置作用下沿垂直支架上下移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石襯底的壓實(shí)與安放，垂直支架在橫向驅(qū)動(dòng)裝置作用下可以沿水平支架往復(fù)移動(dòng)，以適應(yīng)不同寬度大小襯底的打磨加工；同時(shí)在拋光板與配重塊的凹槽之間設(shè)置有緩沖塊，可以對(duì)垂直縱向驅(qū)動(dòng)裝置下壓時(shí)拋光板與襯底接觸時(shí)的沖擊力的緩沖，有利于保護(hù)藍(lán)寶石襯底免受硬性損壞。