藍寶石襯底

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620401735.X 申請日 -
公開（公告）號 CN205595363U 公開（公告）日 2016-09-21
申請公布號 CN205595363U 申請公布日 2016-09-21
分類號 H01L33/20(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁澤;何亞東;房觀耀 申請（專利權）人 元鴻（山東）光電材料有限公司
代理機構 濟寧眾城專利事務所 代理人 杜言壘
地址 272000 山東省濟寧市高新區(qū)聯(lián)華路8號（信息產(chǎn)業(yè)園內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 藍寶石襯底，包括襯底本體，在襯底本體上表面相互嵌套地設置有用于生長緩沖層的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圓臺狀外形，第二凸起呈圓錐狀外形，第一凸起的底面直徑大于第二凸起的底面直徑，第一凸起的高度大于第二凸起的高度，在第一凸起和第二凸起的側壁上形成有DBR膜系；各圓臺狀凸起之間的間距較大，可以生長外延片，有利于提高外延片的生長質(zhì)量，各圓錐狀凸起之間的間距較小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率；通過雙周期的圖形化藍寶石襯底，形成了緩沖層的疊加優(yōu)化，從而使后續(xù)外延生長的外延片質(zhì)量以及光的提取效率得到同步提高。