一種泡沫金屬的高速真空鍍膜設備及工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511013559.9 申請日 -
公開（公告）號 CN105441886A 公開（公告）日 2016-03-30
申請公布號 CN105441886A 申請公布日 2016-03-30
分類號 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李偉;王乃用;劉俊林;蘇衍憲;李常興;孟國強;邢尋勇;錢亞杰;韓珅;田利 申請（專利權(quán)）人 菏澤天宇科技開發(fā)有限責任公司
代理機構(gòu) 濟南泉城專利商標事務所 代理人 張貴賓
地址 274000 山東省菏澤市開發(fā)區(qū)黃河東路三里河工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及泡沫金屬生產(chǎn)領域，特別涉及一種泡沫金屬的高速真空鍍膜設備及工藝。該泡沫金屬的高速真空鍍膜設備及工藝，包括相互對稱的上卷繞室和下卷繞室，上卷繞室和下卷繞室中間設有鍍膜室；所述上卷繞室和下卷繞室內(nèi)設有卷輥；所述卷輥通過電機帶動；所述鍍膜室包括殼體，殼體上下分別設有法蘭；所述殼體內(nèi)壁上設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置；所述冷卻裝置與循環(huán)管相連，陰極靶與設備的濺射電源相連；所述電機、濺射電源等通過PCL控制器控制。本發(fā)明采用多靶極，短間距濺射，模芯接觸式直接冷卻的方案，實現(xiàn)模芯在真空環(huán)境下高速鍍膜。