硅片清洗劑及硅片清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810151790.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108300583A 公開（公告）日 2018-07-20
申請公布號 CN108300583A 申請公布日 2018-07-20
分類號 C11D1/72;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/37;C11D1/14;C11D3/60;C11D11/00 分類 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 申世峰 申請（專利權(quán)）人 常州協(xié)鑫光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 常州協(xié)鑫光伏科技有限公司;揚(yáng)州協(xié)鑫光伏科技有限公司
地址 213022 江蘇省常州市新北區(qū)新四路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片清洗劑及硅片清洗方法。該硅片清洗劑，含有螯合劑、活性劑、可溶性堿、醇類添加劑、消泡劑、基材濕潤劑、抗氧化劑和去離子水。該硅片清洗方法是將待清洗的硅片依次經(jīng)純水漂洗、藥劑清洗、純水漂洗、超聲漂洗、提拉烘干，得到表面潔凈的硅片。上述硅片清洗劑及硅片清洗方法，能夠降低硅片崩邊、隱裂、臟污的比例，清洗后不出現(xiàn)黑邊，硅片在清洗過程中不容易被氧化。同時(shí)，上述硅片清洗劑及硅片清洗方法還能夠降低萬片清洗劑的使用量，改善脫膠清洗員工的作業(yè)環(huán)境，提高硅片清洗速度。