硅片清洗機(jī)的供水裝置以及硅片生產(chǎn)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721072488.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN207204744U | 公開（公告）日 | 2018-04-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207204744U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-04-10 |
| 分類號(hào) | B08B3/10;B08B13/00;F28D9/00 | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 吳流彬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常州協(xié)鑫光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 常州協(xié)鑫光伏科技有限公司 |
| 地址 | 213031 江蘇省常州市新北區(qū)新四路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗機(jī)的供水裝置，其包括清洗用水加熱機(jī)構(gòu)及余熱利用機(jī)構(gòu)；余熱利用機(jī)構(gòu)包括熱媒水箱、空壓機(jī)余熱器、及用于將熱媒水箱中的熱媒水泵入空壓機(jī)余熱器中以加熱的熱媒水泵；清洗用水加熱機(jī)構(gòu)包括進(jìn)水管路、出水管路、用于對(duì)清洗用水進(jìn)行換熱升溫的板式換熱器；板式換熱器具有清洗用水進(jìn)口、清洗用水出口、與空壓機(jī)余熱器連通以將加熱后的熱媒水引入的熱媒水進(jìn)口、及熱媒水出口。該供水裝置，采用硅片生產(chǎn)過程中的空壓機(jī)的余熱對(duì)清洗用水進(jìn)行升溫，使進(jìn)入硅片清洗機(jī)中的清洗用水水溫較高，進(jìn)而降低硅片清洗機(jī)的加熱所需的電量，降低能耗；同時(shí)有利于硅片成本的降低。本實(shí)用新型還公開一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)。 |
