一種高選擇比的化學(xué)機(jī)械拋光液及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010628968.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111662641B 公開（公告）日 2021-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN111662641B 申請(qǐng)公布日 2021-10-26
分類號(hào) C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 劉衛(wèi)麗;馮道歡;宋志棠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏峯;黃志達(dá)
地址 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高選擇比的化學(xué)機(jī)械拋光液及其應(yīng)用，按重量百分比，包括如下組分：拋光顆粒0.1wt％?30wt％；保護(hù)劑0wt％?10wt％；表面活性劑0wt％?10wt％；氧化劑0.001wt％?10wt％；其余為水和pH調(diào)節(jié)劑。本發(fā)明可以明顯改善相變材料的劃傷，拋光速率得以提升，選擇比大大提高，滿足產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用對(duì)于相變材料拋光過程的要求。