一種芯片缺陷檢測(cè)定位系統(tǒng)及其應(yīng)用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010823155.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112033996A 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112033996A 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) G01N25/20;C09J7/35;C09J7/10;C09J133/00;C09J163/10;C09J161/06;C09J11/06 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 高宇陽(yáng);馬超龍;薛九枝;沈戌鋮;熊春榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州和萃新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)黃浦江路280號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片缺陷檢測(cè)定位系統(tǒng)，包括檢測(cè)膜，其包括基底層、離型層和熱轉(zhuǎn)印膠層，熱轉(zhuǎn)印膠層由感溫變色漿料固化形成，感溫變色漿料包括液晶微膠囊、熱轉(zhuǎn)印樹脂、助劑和水；供電裝置，其提供電信號(hào)給待測(cè)芯片；以及信號(hào)處理裝置，其對(duì)測(cè)試信號(hào)進(jìn)行收集和處理。本發(fā)明還公開了一種檢測(cè)定位芯片缺陷的方法。本發(fā)明公開的芯片缺陷檢測(cè)定位系統(tǒng)，可檢測(cè)微米級(jí)的芯片缺陷，檢測(cè)結(jié)果鮮明直觀，檢測(cè)方法簡(jiǎn)單易操作。同時(shí)檢測(cè)膜即貼即測(cè)，用完即可移除，無(wú)需特殊清洗，安全可靠。