具有接點陣列的晶圓加熱座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910467555.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110265323B 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN110265323B 申請公布日 2021-09-03
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 荒見淳一;周仁 申請（專利權(quán)）人 拓荊科技股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽維特專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 甄玉荃
地址 110179遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓加熱座，包含一支撐柱連接于一盤體的底面，且該支撐柱握持有對應(yīng)接觸盤體的多個接觸墊的一接點陣列，該接點陣列包括復(fù)數(shù)個接觸柱。