一種晶圓轉(zhuǎn)移及測(cè)量系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910077771.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109904101B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN109904101B 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王亮;曹曉杰;王卓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 拓荊科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)維特專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 甄玉荃
地址 110179遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)水家900號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及傳輸設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置及測(cè)量方法。包括大氣傳輸裝置、晶圓裝載腔室、真空傳輸裝置、晶圓處理腔室，所述晶圓裝載腔室和晶圓處理腔室包含腔體主體，透明窗，傳動(dòng)裝置，及晶圓位置檢測(cè)設(shè)備，該系統(tǒng)是將晶圓放置于晶圓裝載腔室和晶圓處理腔室內(nèi)時(shí)進(jìn)行檢測(cè)；本發(fā)明采用在晶圓放置于裝載腔和處理腔室內(nèi)時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)結(jié)果更加真實(shí)準(zhǔn)確，避免了因放置過(guò)程中晶圓與支座相對(duì)滑動(dòng)而產(chǎn)生的偏差。